9月27日，中科飞测发布公告称，公司实际控制人的一致行动人深圳小纳光实验室投资企业（有限合伙）计划自公告披露之日起15个交易日后的3个月内，通过集中竞价交易方式减持公司股份不超过100万股，即不超过公司总股本的0.28%。本次减持不设价格区间，减持原因为自身资金安排需要。截至公告披露日，小纳光持有公司股份1885.59万股，占公司总股本的5.36%，均为IPO前取得股份。本次减持不会导致公司控股股东、实际控制人发生变化。
公开资料显示，中科飞测成立于2014年，总部位于深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路，是中国高端半导体质量控制设备公司，主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，主要产品包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，目前已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。2026年2月，胡润研究院发布《2025胡润中国500强》，中科飞测以440亿市值估值，排名361位。
公司创始人为陈鲁，毕业于中国科学技术大学少年班，获得物理学专业学士学位，又赴美留学，到美国布朗大学攻读物理学，拿到博士研究生学位。陈鲁曾在科磊半导体担任资深科学家，还担任过中科院微电子所的研究员、博士生导师。
业绩方面，今年上半年，中科飞测实现营收9.41亿元，同比增长34.01%；归母净利润亏损1.27亿元，2025年同期亏损1835.43万元。